名称：电阻蒸发镀膜机
型号：DM-300B
简介：
在真空条件下，通过加热蒸发源使蒸发源中的物质蒸发，蒸汽的原子或分子从蒸发源表面逸出，沉积到基片上凝结形成薄膜。镀膜室：主要包括四对螺旋状钨丝或舟状蒸发加热器；旋转基片支架；烘烤加热器；热电偶测温探头；离子轰击环；针阀；观察窗等。真空获得系统：主要由机械泵、分子泵、高低真空阀、充气阀、电磁阀等组成。真空测量系统：由热偶计和电离计组合的复合真空计而成，热偶计是用于测量低真空度，范围 102～10-1 Pa，电离计是用于测量高真空度，范围 10-1～10-6Pa。 电路控制系统：主要由机械泵、扩散泵、电磁阀控制电路和镀膜蒸发加热器控制电路、钟罩升降控制电路、基片支架旋转调速控制电路、烘烤加热温度控制电路、离子轰击电路等组成。
