名称：半导体参数分析仪（含高精度探针台）
型号：KEITHLEY 4200 SCS + BD-8
简介：
主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。测量半导体与光电器件的I-V、C-V及Cp-G, Cp-D, Cs-Rs, Cs-D, R-jX, Z theta.等特性曲线。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。本系统具有以下特点：直观、点击式Windows操作环境独特的远端前置放大器，可将SMU的分辨率扩展至0.1fA；用于高级半导体测试的新型脉冲与脉冲式I-V功能；集成了示波与脉冲测量功能的新型示波卡；内置PC提供快速的测试设置、强大的数据分析、制图与打印、以及测试结果的大容量存储；独特的浏览器风格的软件界面，根据器件的类型来安排测试，可以执行多项测试并提供测试序列与循环控制功能；内置了Stress/Measure，循环和数据分析功能，通过鼠标点击方式就可进行可靠性测试，包括5个JEDEC规范的样品测试；支持多种外围设备。探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，适用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途。
